Modeling Aspects in Optical Metrology

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς: Bosse, Harald
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:Αγγλικά
Έκδοση: SPIE Digital Library, 6/18/07
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)