Modeling Aspects in Optical Metrology

Մատենագիտական մանրամասներ
Այլ հեղինակներ: Bosse, Harald
Ձևաչափ: Էլեկտրոնային էլ․ գիրք
Լեզու:անգլերեն
Հրապարակվել է: SPIE Digital Library, 6/18/07
Խորագրեր:
Առցանց հասանելիություն:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)