Bakshi, V. EUV Lithography. SPIE Digital Library.
Style de citation Chicago (17e éd.)Bakshi, Vivek. EUV Lithography. SPIE Digital Library.
Style de citation MLA (9e éd.)Bakshi, Vivek. EUV Lithography. SPIE Digital Library.
Attention : ces citations peuvent ne pas être correctes à 100%.