Tan, H. H. Device and Process Technologies for Microelectronics, MEMS, Photonics, and Nanotechnology IV. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Tan, Hark Hoe. Device and Process Technologies for Microelectronics, MEMS, Photonics, and Nanotechnology IV. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή MLA (9th εκδ.)Tan, Hark Hoe. Device and Process Technologies for Microelectronics, MEMS, Photonics, and Nanotechnology IV. SPIE Digital Library.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.