Maher, M. A. Micromachining and Microfabrication Process Technology XIII. SPIE Digital Library.
Citação norma ChicagoMaher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology XIII. SPIE Digital Library.
Citação norma MLAMaher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology XIII. SPIE Digital Library.
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