Citação norma APA

Maher, M. A. Micromachining and Microfabrication Process Technology XIII. SPIE Digital Library.

Citação norma Chicago

Maher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology XIII. SPIE Digital Library.

Citação norma MLA

Maher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology XIII. SPIE Digital Library.

Nota: a formatação da citação pode não corresponder 100% ao definido pela respectiva norma.