Цитирование APA (7-е изд.)

Maher, M. A. Micromachining and Microfabrication Process Technology XIII. SPIE Digital Library.

Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)

Maher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology XIII. SPIE Digital Library.

Цитирование MLA (9-е изд.)

Maher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology XIII. SPIE Digital Library.

Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.