MEMS/MOEMS Components and Their Applications V. Special Focus Topics: Transducers at the Micro-Nano Interface

Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Tadigadapa, Srinivas
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: SPIE Digital Library, 2/22/08
Schlagworte:
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