MEMS/MOEMS Components and Their Applications V. Special Focus Topics: Transducers at the Micro-Nano Interface

Detaylı Bibliyografya
Diğer Yazarlar: Tadigadapa, Srinivas
Materyal Türü: Elektronik Ekitap
Dil:İngilizce
Baskı/Yayın Bilgisi: SPIE Digital Library, 2/22/08
Konular:
Online Erişim:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Benzer Materyaller