MEMS/MOEMS Components and Their Applications V. Special Focus Topics: Transducers at the Micro-Nano Interface

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلفون آخرون: Tadigadapa, Srinivas
التنسيق: الكتروني كتاب الكتروني
اللغة:الإنجليزية
منشور في: SPIE Digital Library, 2/22/08
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)