Allgair, J. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXII. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Allgair, John. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXII. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή MLA (9th εκδ.)Allgair, John. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXII. SPIE Digital Library.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.