Allgair, J. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXII. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումAllgair, John. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXII. SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումAllgair, John. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXII. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.