Цитирование APA (7-е изд.)

Allgair, J. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXII. SPIE Digital Library.

Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)

Allgair, John. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXII. SPIE Digital Library.

Цитирование MLA (9-е изд.)

Allgair, John. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXII. SPIE Digital Library.

Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.