Allgair, J. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXII. SPIE Digital Library.
Chicago-referens (17:e uppl.)Allgair, John. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXII. SPIE Digital Library.
MLA-referens (9:e uppl.)Allgair, John. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXII. SPIE Digital Library.
Varning: dessa hänvisningar är inte alltid fullständigt riktiga.