Allgair, J. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXII. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Allgair, John. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXII. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Allgair, John. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXII. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.