Urey, H. MEMS, MOEMS, and Micromachining III. SPIE Digital Library.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Urey, Hakan. MEMS, MOEMS, and Micromachining III. SPIE Digital Library.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Urey, Hakan. MEMS, MOEMS, and Micromachining III. SPIE Digital Library.
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