Urey, H. MEMS, MOEMS, and Micromachining III. SPIE Digital Library.
Style de citation Chicago (17e éd.)Urey, Hakan. MEMS, MOEMS, and Micromachining III. SPIE Digital Library.
Style de citation MLA (9e éd.)Urey, Hakan. MEMS, MOEMS, and Micromachining III. SPIE Digital Library.
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