Urey, H. MEMS, MOEMS, and Micromachining III. SPIE Digital Library.
Chicago Style (17th ed.) CitationUrey, Hakan. MEMS, MOEMS, and Micromachining III. SPIE Digital Library.
ציטוט MLAUrey, Hakan. MEMS, MOEMS, and Micromachining III. SPIE Digital Library.
אזהרה: ציטוטים אלה לעיתים לא מדויקים ב 100%.