Urey, H. MEMS, MOEMS, and Micromachining III. SPIE Digital Library.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Urey, Hakan. MEMS, MOEMS, and Micromachining III. SPIE Digital Library.
Цитирование MLA (9-е изд.)Urey, Hakan. MEMS, MOEMS, and Micromachining III. SPIE Digital Library.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.