Urey, H. MEMS, MOEMS, and Micromachining III. SPIE Digital Library.
Chicago Style (17. basım) AtıfUrey, Hakan. MEMS, MOEMS, and Micromachining III. SPIE Digital Library.
MLA (9th ed.) AtıfUrey, Hakan. MEMS, MOEMS, and Micromachining III. SPIE Digital Library.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..