Urey, H. MEMS, MOEMS, and Micromachining III. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Urey, Hakan. MEMS, MOEMS, and Micromachining III. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Urey, Hakan. MEMS, MOEMS, and Micromachining III. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.