Citação norma APA

Horiuchi, T. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XV. SPIE Digital Library.

Citação norma Chicago

Horiuchi, Toshiyuki. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XV. SPIE Digital Library.

Citação norma MLA

Horiuchi, Toshiyuki. Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XV. SPIE Digital Library.

Nota: a formatação da citação pode não corresponder 100% ao definido pela respectiva norma.