Maher, M. A. Micromachining and Microfabrication Process Technology XIV. SPIE Digital Library.
Style de citation Chicago (17e éd.)Maher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology XIV. SPIE Digital Library.
Style de citation MLA (9e éd.)Maher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology XIV. SPIE Digital Library.
Attention : ces citations peuvent ne pas être correctes à 100%.