Levinson, H. Optical Microlithography XXII. SPIE Digital Library.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Levinson, Harry. Optical Microlithography XXII. SPIE Digital Library.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Levinson, Harry. Optical Microlithography XXII. SPIE Digital Library.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.