Wei, Y. Advanced Processes for 193-nm Immersion Lithography. SPIE Digital Library.
Cytowanie według stylu Chicago (wyd. 17)Wei, Yayi. Advanced Processes for 193-nm Immersion Lithography. SPIE Digital Library.
Cytowanie według stylu MLA (wyd. 9)Wei, Yayi. Advanced Processes for 193-nm Immersion Lithography. SPIE Digital Library.
Uwaga: Te cytaty mogą odróżniać się od wytycznej twojego fakultetu..