Lin, B. J. Optical Lithography: Here Is Why. SPIE Digital Library.
Chicago Style (17. basım) AtıfLin, Burn J. Optical Lithography: Here Is Why. SPIE Digital Library.
MLA (9th ed.) AtıfLin, Burn J. Optical Lithography: Here Is Why. SPIE Digital Library.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..