Behringer, U. 25th European Mask and Lithography Conference. SPIE Digital Library.
Chicago-referens (17:e uppl.)Behringer, Uwe. 25th European Mask and Lithography Conference. SPIE Digital Library.
MLA-referens (9:e uppl.)Behringer, Uwe. 25th European Mask and Lithography Conference. SPIE Digital Library.
Varning: dessa hänvisningar är inte alltid fullständigt riktiga.