Maher, M. A. Micromachining and Microfabrication Process Technology XV. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Maher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology XV. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή MLA (9th εκδ.)Maher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology XV. SPIE Digital Library.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.