Maher, M. A. Micromachining and Microfabrication Process Technology XV. SPIE Digital Library.
Citazione stile Chigago Style (17a edizione)Maher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology XV. SPIE Digital Library.
Citatione MLA (9a ed.)Maher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology XV. SPIE Digital Library.
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