La Fontaine, B. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)La Fontaine, Bruno. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography. SPIE Digital Library.
Παραπομπή σε μορφή MLA (9th εκδ.)La Fontaine, Bruno. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography. SPIE Digital Library.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.