La Fontaine, B. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography. SPIE Digital Library.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումLa Fontaine, Bruno. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography. SPIE Digital Library.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումLa Fontaine, Bruno. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography. SPIE Digital Library.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.