La Fontaine, B. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography. SPIE Digital Library.
Chicago Style (17. basım) AtıfLa Fontaine, Bruno. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography. SPIE Digital Library.
MLA (9th ed.) AtıfLa Fontaine, Bruno. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography. SPIE Digital Library.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..