Dusa, M. Optical Microlithography XXIII. SPIE Digital Library.
Chicago Style (17. basım) AtıfDusa, Mircea. Optical Microlithography XXIII. SPIE Digital Library.
MLA (9th ed.) AtıfDusa, Mircea. Optical Microlithography XXIII. SPIE Digital Library.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..