Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena
| Ձևաչափ: | Էլեկտրոնային Ամսագիր |
|---|---|
| Լեզու: | անգլերեն |
| Հրապարակվել է: |
AVS: Science & Technology of Materials, Interfaces, and Processing
|
| Խորագրեր: | |
| Առցանց հասանելիություն: | Full text available on AIP |