Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena. AVS: Science & Technology of Materials, Interfaces, and Processing.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումJournal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena. AVS: Science & Technology of Materials, Interfaces, and Processing.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումJournal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena. AVS: Science & Technology of Materials, Interfaces, and Processing.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.