Trích dẫn kiểu APA (xuất bản lần thứ 7)

Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena. AVS: Science & Technology of Materials, Interfaces, and Processing.

Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)

Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena. AVS: Science & Technology of Materials, Interfaces, and Processing.

Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 9)

Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena. AVS: Science & Technology of Materials, Interfaces, and Processing.

Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.