Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena
| التنسيق: | الكتروني دورية |
|---|---|
| اللغة: | الإنجليزية |
| منشور في: |
AVS: Science & Technology of Materials, Interfaces, and Processing
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | Full text available on AIP |
| منشور في: | Vol. 9, no. 1 |
|---|---|
| وصف المادة: | <strong>On-Campus Access:</strong> No User ID or Password Required |
| وصف مادي: | 1 online resource |
| التنسيق: | Mode of access: Internet |
| تدمد: | 1071-1023 1520-8567 |
| وصول: | Electronic access restricted to authorized AUW faculty, staff and students |