Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena
| Ձևաչափ: | Էլեկտրոնային Ամսագիր |
|---|---|
| Լեզու: | անգլերեն |
| Հրապարակվել է: |
AVS: Science & Technology of Materials, Interfaces, and Processing
|
| Խորագրեր: | |
| Առցանց հասանելիություն: | Full text available on AIP |
| Հրապարակվել է: | Vol. 9, no. 1 |
|---|---|
| Նյութի նկարագրություն: | <strong>On-Campus Access:</strong> No User ID or Password Required |
| Ֆիզիկական նկարագրություն: | 1 online resource |
| Ձևաչափ: | Mode of access: Internet |
| ISSN: | 1071-1023 1520-8567 |
| Հասանելի: | Electronic access restricted to authorized AUW faculty, staff and students |