Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena
| フォーマット: | 電子媒体 雑誌 |
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| 言語: | 英語 |
| 出版事項: |
AVS: Science & Technology of Materials, Interfaces, and Processing
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| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | Full text available on AIP |
| 出版事項: | Vol. 9, no. 1 |
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| 記述事項: | <strong>On-Campus Access:</strong> No User ID or Password Required |
| 物理的記述: | 1 online resource |
| フォーマット: | Mode of access: Internet |
| ISSN: | 1071-1023 1520-8567 |
| アクセス: | Electronic access restricted to authorized AUW faculty, staff and students |