Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Technology: Submicrometer Lithographies IX

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς: Resnick, Douglas
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:Αγγλικά
Έκδοση: SPIE Digital Library, 5/1/90
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Παρόμοια τεκμήρια