Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing

Մատենագիտական մանրամասներ
Այլ հեղինակներ: Peckerar, Martin
Ձևաչափ: Էլեկտրոնային էլ․ գիրք
Լեզու:անգլերեն
Հրապարակվել է: SPIE Digital Library, 8/1/91
Խորագրեր:
Առցանց հասանելիություն:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Նմանատիպ նյութեր