Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing

Номзүйн дэлгэрэнгүй
Бусад зохиолчид: Peckerar, Martin
Формат: Цахим Цахим ном
Хэл сонгох:англи
Хэвлэсэн: SPIE Digital Library, 8/1/91
Нөхцлүүд:
Онлайн хандалт:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Ижил төстэй зүйлс