Metallization: Performance and Reliability Issues for VLSI and ULSI

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلفون آخرون: Gildenblat, Gennady
التنسيق: الكتروني كتاب الكتروني
اللغة:الإنجليزية
منشور في: SPIE Digital Library, 12/1/91
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)