Optical Characterization Techniques for High-Performance Microelectronic Device Manufacturing

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς: Mathur, Jagdish
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:Αγγλικά
Έκδοση: SPIE Digital Library, 9/14/94
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Παρόμοια τεκμήρια