Microlithography and Metrology in Micromachining II

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς: Postek, Michael
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:Αγγλικά
Έκδοση: SPIE Digital Library, 9/13/96
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Παρόμοια τεκμήρια