Design, Test, and Microfabrication of MEMS and MOEMS

Manylion Llyfryddiaeth
Awduron Eraill: Ehrfeld, Wolfgang
Fformat: Electronig eLyfr
Iaith:Saesneg
Cyhoeddwyd: SPIE Digital Library, 3/10/99
Pynciau:
Mynediad Ar-lein:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Eitemau Tebyg