Design, Test, and Microfabrication of MEMS and MOEMS

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς: Ehrfeld, Wolfgang
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:Αγγλικά
Έκδοση: SPIE Digital Library, 3/10/99
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Παρόμοια τεκμήρια