Design, Test, and Microfabrication of MEMS and MOEMS

Bibliografski detalji
Daljnji autori: Ehrfeld, Wolfgang
Format: Elektronički e-knjiga
Jezik:engleski
Izdano: SPIE Digital Library, 3/10/99
Teme:
Online pristup:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Slični predmeti