Design, Test, and Microfabrication of MEMS and MOEMS

Opis bibliograficzny
Kolejni autorzy: Ehrfeld, Wolfgang
Format: Elektroniczne E-book
Język:angielski
Wydane: SPIE Digital Library, 3/10/99
Hasła przedmiotowe:
Dostęp online:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Podobne zapisy