MEMS Design, Fabrication, Characterization, and Packaging

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلفون آخرون: Behringer, Uwe
التنسيق: الكتروني كتاب الكتروني
اللغة:الإنجليزية
منشور في: SPIE Digital Library, 4/30/01
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

مواد مشابهة