MEMS Design, Fabrication, Characterization, and Packaging

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς: Behringer, Uwe
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:Αγγλικά
Έκδοση: SPIE Digital Library, 4/30/01
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)

Παρόμοια τεκμήρια